ＭＥＭＳデバイス、ＭＥＭＳスイッチ及びＭＥＭＳスイッチの製造方法

摘要

【課題】 伝送線路及び絶縁層との密着性が高いＭＥＭＳデバイス、ＭＥＭＳスイッチ及びそのようなＭＥＭＳスイッチの製造方法を提供する。【解決手段】 高周波線路２１と絶縁層２４との間に、絶縁性を有し且つ絶縁層２４よりも（高周波の）絶縁性が高い材料からなる薄膜密着層２３が形成されている。高周波線路２１及び絶縁層２４の双方と密着する材料からなる薄膜密着層２３を設けたことにより、高周波線路２１と絶縁層２４との密着性を従来よりも高いものとすることができる。その結果、高周波線路２１と絶縁層２４との間に漏れ経路が形成されることがない。【選択図】 図１