ウエハ加工用接着材、ウエハ積層体及び薄型ウエハの製造方法

摘要

【課題】ウエハと支持体を剥離する際に汚染源となるパーティクルの発生を抑え、耐熱性があり、仮接着が容易であり、かつ、高段差基板においても均一な膜厚での形成が可能であり、ＴＳＶ形成、ウエハ裏面配線工程に対する工程適合性が高く、更には、ＣＶＤといったウエハ熱プロセス耐性に優れ、剥離も容易で、薄型ウエハの生産性を高めることができるウエハ加工用接着材、該接着材によりウエハと支持体が貼り合わせられているウエハ積層体、及びこれを使用する薄型ウエハの製造方法を提供する。【解決手段】ウエハと支持体を一時的に貼り付けるためのシリコーン系接着剤を含有する接着材であって、帯電防止剤を含有することを特徴とするウエハ加工用接着材。【選択図】図１