| 摘要 |
본 발명은 서로 다른 유형의 박막 트랜지스터들이 동일 기판 위에 배치된 박막 트랜지스터 기판 및 이를 이용한 표시장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 박막 트랜지스터 기판은, 기판, 제1 박막 트랜지스터, 제2 박막 트랜지스터, 중간 절연막 및 산화막을 포함한다. 제1 박막 트랜지스터는 기판 위에 배치되며, 다결정 반도체 층, 다결정 반도체 층 위에 배치된 제1 게이트 전극, 제1 소스 전극 및 제1 드레인 전극을 포함한다. 제2 박막 트랜지스터는 기판 위에 배치되며, 제2 게이트 전극, 제2 게이트 전극 위에 배치된 산화물 반도체 층, 제2 소스 전극 및 제2 드레인 전극을 포함한다. 중간 절연막은 제1 게이트 전극의 상부에 배치되며, 질화막을 포함한다. 산화막은 중간 절연막 위에 배치되며, 제2 게이트 전극을 덮는다. 산화물 반도체 층은, 산화막 위에서, 제2 게이트 전극과 중첩하도록 배치된다. 제1 소스 전극, 제1 드레인 전극 및 제2 게이트 전극은 중간 절연막과 산화막 사이에 배치된다. 제2 소스 전극 및 제2 드레인 전극은 산화물 반도체 층 위에 배치된다. |
