ＭＥＭＳセンサ用モジュール、振動駆動モジュール及びＭＥＭＳセンサ

摘要

本発明のＭＥＭＳセンサ用モジュール、殊に振動駆動モジュールは、振動可能に支持され、振動方向に延在する可動電極と、この可動電極と略平行に配設され、前記振動方向に延在する固定電極と、前記可動電極の前記固定電極に対向する対向壁面上に前記振動方向に並設される複数の凸部と、前記固定電極の前記可動電極に対向する対向壁面上に前記可動電極の凸部と対向する複数の凸部とを有する。