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发明名称
剥離起点作成装置及び方法
摘要
本発明は、ナイフを傾けなくても、ナイフ挿入位置に対するナイフの刃先の位置を検出でき、ナイフを精度よく挿入できる剥離起点作成装置を提供する。本発明は、積層体の第1基板と第2基板との間にナイフを挿入させる移動手段と、ナイフの刃先の位置と、第2基板の第2主面の位置とを検出する位置検出手段と、積層体とナイフとの位置を調整する位置調整手段と、を備える剥離起点作成装置を提供する。
申请公布号
JPWO2015002030(A1)
申请公布日期
2017.02.23
申请号
JP20150525163
申请日期
2014.06.24
申请人
旭硝子株式会社
发明人
滝内 圭;伊藤 泰則;宇津木 洋
分类号
H01L21/02;G01B11/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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