| 摘要 |
この極端紫外光生成システムは、チャンバと、チャンバ内のプラズマ生成領域に向けてターゲットを出力するように構成されたターゲット生成部と、ターゲットに、第１プリパルスレーザ光、第２プリパルスレーザ光及びメインパルスレーザ光がこの順で照射されるように、第１プリパルスレーザ光、第２プリパルスレーザ光及びメインパルスレーザ光を生成するレーザシステムと、第２プリパルスレーザ光のフルーエンスが、１Ｊ／ｃｍ２以上、且つ、メインパルスレーザ光のフルーエンス以下となるように、レーザシステムを制御する制御部と、を含んでもよい。 |
