| 摘要 |
ノズルに対して供給する気体の圧力を広範囲にわたって安定的に制御する。第１の正圧で気体を供給する第１の正圧供給通路と、第１の正圧よりも低い第２の正圧で気体を供給する第２の正圧供給通路と、ノズル６１１に接続されるノズル接続通路と、第１の正圧供給通路をノズル接続通路に接続する第１の接続状態と、第２の正圧供給通路をノズル接続通路に接続する第２の接続状態とを選択的に切り替える切替バルブ３４と、切替バルブ３４での接続状態を制御してノズルに供給される気体の圧力を第１の正圧から第２の正圧の範囲で調整するバルブ制御部とを備えている。 |
