| 摘要 |
【課題】ＣＤ均一性（ＣＤＵ）が良好なレジストパターンを製造できる化合物、樹脂、レジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】式（Ｉ）で表される構造単位を有する樹脂と酸発生剤とを含有するレジスト組成物、式（Ｉ）で表される構造単位を導く化合物及びこれを含む樹脂。［式（Ｉ）中、Ｒ１は、ハロゲン原子を有してもよいアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。Ｌ１は、置換基を有していてもよい２価の炭化水素基又は＊−Ｌ２−Ｘ１−Ｌ３−を表す。＊は、酸素原子との結合手を表す。Ｌ２は、置換基を有していてもよい２価の炭化水素基を表す。Ｌ３は、単結合又は置換基を有していてもよい２価の炭化水素基を表す。Ｘ１は、酸素原子、カルボニルオキシ基又はオキシカルボニル基を表す。Ｒ２は、置換基を有していてもよい炭化水素基を表す。］【選択図】なし |
