サファイア用研磨液、貯蔵液及び研磨方法

摘要

【課題】サファイアは硬度が高くＣＭＰが困難で、加工時間が長く生産コストが高くなる問題がある。速い研磨速度で研磨できるサファイア用研磨液の提供。【解決手段】１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］ウンデセン−７（ＤＢＵ）骨格を有する化合物と、シリカを含む砥粒と、液状媒体とを含有する、サファイア用研磨液。化合物の含有量は研磨液の全質量基準で０．０２重量％以上であり、砥粒の含有量は研磨液の全質量基準で１〜４０％であり、また、ｐＨは７．０〜１０．５であるサファイア用研磨液。【選択図】なし