| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Plasmagenerator (1), der einen piezoelektrischer Transformator (2), der zur Ionisation eines Prozessgases geeignet ist, eine Ionenseparationselektrode (7), und eine Ansteuerschaltung (8), die dazu geeignet ist, an die Ionenseparationselektrode (7) ein Potential anzulegen, aufweist. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Einstellung des Verhältnisses von positiven zu negativen Ionen in einem von einem Plasmagenerator (1) erzeugten Plasma. |
