| 摘要 |
【課題】流体の消費を抑制することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】シート貼付装置１０は、被着体ＷＦを保持する第１保持手段２０と、第１保持手段２０に保持された被着体ＷＦに接着シートＡＳの一方の面ＡＳ１を対向させて当該接着シートＡＳの外縁部を保持する第２保持手段３０と、流体を供給する流体供給手段４０と、第１保持手段２０で保持された被着体ＷＦに第２保持手段３０で保持された接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段５０とを備え、第２保持手段３０は、接着シートＡＳを含めて第１保持手段２０を囲む閉塞空間ＳＰを形成可能に設けられ、流体供給手段４０は、閉塞空間ＳＰに流体を供給し、接着シートＡＳを被着体ＷＦから離間する方向に変形させ、押圧手段５０は、変形した接着シートＡＳを被着体ＷＦに押圧して貼付する。【選択図】図１ |
