发明名称 半導体装置およびその製造方法
摘要 【課題】 信頼性の向上を図った半導体装置を提供すること。【解決手段】 半導体素子31と、主面11を有し、かつ半導体素子31を搭載する、半導体材料からなる基板1と、基板1に形成された導電層20と、半導体素子31を覆う封止樹脂4と、を備え、基板1には、底面151と、基板1の厚さ方向Zに対して直角である第1方向Xに離間した一対の傾斜面152と、を有し、かつ主面11から窪む凹部15が形成され、一対の傾斜面152はそれぞれ、主面11および底面151につながり、導電層20は、一対の傾斜面152に形成された複数の第1導電経路21を含み、一方の傾斜面152における第1導電経路21が形成された領域と、基板1の厚さ方向Zおよび第1方向Xのいずれに対して直角である第2方向Yに平行な軸Nに関して線対称である他方の傾斜面152における領域に、第1導電経路21が形成されていない。【選択図】 図2
申请公布号 JP2017041549(A) 申请公布日期 2017.02.23
申请号 JP20150162843 申请日期 2015.08.20
申请人 ローム株式会社 发明人 竹田 裕史;木本 智士
分类号 H01L23/12;H01L23/14;H01L43/04 主分类号 H01L23/12
代理机构 代理人
主权项
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