半導体用複合基板のハンドル基板

摘要

ハンドル基板１は、焼結助剤として少なくともマグネシウムを含有する透光性アルミナセラミックスにより形成されている。ハンドル基板１のドナー基板５に対する接合面１ａにおけるマグネシウム濃度が、ハンドル基板１の平均マグネシウム濃度の半分以下である。