摘要 |
半導体装置は、第1電極122を含む第1表面層112が設けられた第1基板101と、第2電極142を含む第2表面層132とを有し、第2表面層132を第1表面層112と接するようにして第1基板101と直接接合された拡張第2基板102と、第1基板101又は第2基板131を貫通する貫通電極113とを備えている。第2表面層132は、第2基板131及び樹脂部135により構成された拡張第2主面172Aの上に設けられている。第2基板131の平面サイズは、第1基板101の平面サイズよりも小さく、第1電極122と第2電極142とは、互いに接して接続されている。 |