摘要 |
【課題】検出信号の漏れ信号成分である電気漏れ信号成分と機械漏れ信号成分を同時に一つの補正回路によって、振動子のモニタ信号に基づき補正信号を生成し、検出信号を補正し、角速度の検出の高精度化及び小型化が可能な振動型ジャイロセンサを提供すること。【解決手段】振動子1と、振動子1に駆動信号S5を印加すると共に振動子1からモニタ信号S1を受け、振動子1を発振させる発振回路20と、印加された角速度に応じて振動子1が出力する検出信号S10a、S10bを同期検波する同期検波回路34と、を有する振動型ジャイロセンサにおいて、モニタ信号S1に基づいて、検出信号S10a、S10bの不要信号成分を補正する補正信号S24を生成し、生成した補正信号S24を用いて補正処理を行う補正回路40を備える構成とした。【選択図】図1 |