| 摘要 |
【課題】温度感度の小さい圧力センサー、この圧力センサーを備えた信頼性の高い高度計、電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】圧力センサー１は、受圧により撓み変形するダイアフラム２１１と、ダイアフラム２１１に配置されたセンサー部２２と、を有する圧力センサー素子２と、受圧により撓み変形するダイアフラム３１１と、ダイアフラム３１１に配置されたセンサー部３２と、を有する圧力センサー素子３と、を有し、センサー部２２およびセンサー部３２の一方が正の温度特性を有し、他方が負の温度特性を有する。【選択図】図１ |
