发明名称 テストシステム、試験装置
摘要 【課題】最新の半導体デバイスに対応することが容易であり、および/または、コストの上昇を抑制可能なテストシステムを提供する。【解決手段】少なくともひとつの汎用サーバ110は、イーサネット(登録商標)を介してPEモジュール120と接続される。PEモジュール120の制御部130は、PE回路122および複数のフェイルメモリ124をリアルタイム制御するとともに、複数のフェイルメモリ124のフェイル情報を一旦保持し、データ処理した後に汎用サーバ110へと転送する。汎用サーバ110は、PEモジュール120からのデータにもとづいてDUT202の冗長救済解析を行うように、プログラム制御される。【選択図】図2
申请公布号 JP2017040639(A) 申请公布日期 2017.02.23
申请号 JP20160025991 申请日期 2016.02.15
申请人 株式会社アドバンテスト 发明人 小杉 真章;大黒 貴司;坂本 満祐;藤井 俊朗;本間 尚宏;大森 秀人
分类号 G01R31/28;G11C29/56 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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