摘要 |
【課題】最新の半導体デバイスに対応することが容易であり、および/または、コストの上昇を抑制可能なテストシステムを提供する。【解決手段】少なくともひとつの汎用サーバ110は、イーサネット(登録商標)を介してPEモジュール120と接続される。PEモジュール120の制御部130は、PE回路122および複数のフェイルメモリ124をリアルタイム制御するとともに、複数のフェイルメモリ124のフェイル情報を一旦保持し、データ処理した後に汎用サーバ110へと転送する。汎用サーバ110は、PEモジュール120からのデータにもとづいてDUT202の冗長救済解析を行うように、プログラム制御される。【選択図】図2 |