レジスト下層膜形成用組成物

摘要

［課題］限界寸法均一性や焦点深度マージンを改善することのできるデンドリマー化合物、および下層反射防止膜を形成することができる組成物の提供。［解決手段］エーテル結合またはチオエーテル結合とを有する骨格の末端に、ハロゲン化アルキル基置換された芳香族基および２以上のＯＨ基を有するデンドリマー化合物、およびそれを含む下層反射防止膜形成用組成物。