发明名称 マイクロ波プラズマ発生装置の空洞共振器
摘要 矩形断面を有する側壁2と、側壁の上端開口および下端開口をそれぞれ閉じる上壁3および下壁4とから構成されて、内部に空洞5を有する導体製の共振器本体1を備える。側壁にはマイクロ波供給口6が設けられ、マイクロ波供給口に誘導性窓13を介して導波管7が接続される。上壁および下壁にはそれぞれ反応管取付口3a、4aが設けられる。反応管取付口に反応管8が取り付けられて、空洞を上下に貫通するとともに、導波管の軸と交差してのびる。空洞内の側壁内面および反応管から間隔をあけた位置に、非磁性金属製メッシュから形成された角筒体10a〜10cが、共振器本体1と同軸にかつ入れ子状に配置される。
申请公布号 JPWO2014192062(A1) 申请公布日期 2017.02.23
申请号 JP20130548674 申请日期 2013.05.27
申请人 株式会社アドテック プラズマ テクノロジー 发明人 藤井 修逸;大井 克己
分类号 H01P7/06;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46 主分类号 H01P7/06
代理机构 代理人
主权项
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