磁性記録媒体用スパッタリングターゲット

摘要

Ｌ１０型規則格子のＦｅ−Ｐｔ合金と非磁性材料を主成分とする焼結体スパッタリグターゲットであって、ＣｏもしくはＮｉのいずれか一方又は両方をスパッタリングターゲットの金属成分中の原子数比率で、０．０５〜０．５％含有することを特徴とするスパッタリングターゲット。本発明は、スパッタ時に発生するパーティクル量を大幅に低減させたＦｅ−Ｐｔ系合金と非磁性材料とからなるスパッタリングターゲットを提供することを課題とする。【選択図】なし