| 摘要 |
ｉ線に高い光感度を有し、耐熱安定性に優れ、疎水性材料への溶解性に優れる非イオン系光酸発生剤を提供する。本発明は、下記一般式（１）で表されることを特徴とする非イオン系光酸発生剤（Ａ）である。［式（１）中、Ｒ１、Ｒ２は互いに独立に、炭素数１〜１８のアルキル基もしくは炭素数１〜１８のフルオロアルキル基、炭素数２〜１８のアルケニル基、炭素数２〜１８のアルキニル基、炭素数６〜１８のアリール基、シリル基等を表し、ｍ、ｎはそれぞれＲ１、Ｒ２の個数を表し、その数は０〜３の整数であり、Ｒ１とＲ２の合計個数（ｍ＋ｎ）は１〜６の整数である。ｍ個のＲ１およびｎ個のＲ２はそれぞれ同一であっても異なっていても良い。Ｒ３は炭素数１〜１８の炭化水素基（水素の一部又は全部がフッ素で置換されていてよい）を表す。］【化１】 |
