发明名称 |
マイクロリソグラフィ投影対物レンズ |
摘要 |
【課題】物体平面に配置されるパターンを像平面内に結像するマイクロリソグラフィ投影対物レンズにおいて迷光を抑制する。【解決手段】物体平面に配置されるパターンを像平面内に結像するマイクロリソグラフィ投影対物レンズ10が提供され、第1対物レンズ部16と、第2対物レンズ部18と、少なくとも一つの第3対物レンズ部20とを備え、第2対物レンズ部18は、第1対物レンズ部10における光伝搬方向および第3対物レンズ部20における光伝搬方向と異なる光伝搬方向を規定し、かつ第1対物レンズ部10と第2対物レンズ部18との間および第2対物レンズ部18と第3対物レンズ部20との間に少なくとも一つのビーム偏向装置22をさらに備え、少なくとも一つのシールド24が、第1対物レンズ部16から第3対物レンズ部内20への直接光漏れが少なくとも減少するようにしてビーム偏向装置22の領域に配置される。【選択図】図1 |
申请公布号 |
JP2017040939(A) |
申请公布日期 |
2017.02.23 |
申请号 |
JP20160223867 |
申请日期 |
2016.11.17 |
申请人 |
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー |
发明人 |
フェルトマン,ハイコ;クラエフマー,ダーニエル;ペラン,ジャン−クロード;カルラー,ユーリアン;ドドック,アウレリアン;カメノフ,ウラディミル;コンラディ,オーラフ;グルナー,トーアアルフ;オーコン,トーマス;エップル,アレクサンダー |
分类号 |
G03F7/20;G02B13/18;G02B17/08 |
主分类号 |
G03F7/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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