| 摘要 |
본 발명은 패널에 무전해질 용액을 분사 도포한 후 평평하게 눌러준 상태에서 투명한 ITO 패턴의 결함 여부를 검사하여 패턴의 일률적인 검사와 함께 정밀한 검사를 도모함을 제공하도록, 일면에 ITO 패턴이 형성되고 양면에 보호필름이 부착된 패널로부터 ITO 패턴의 결함 여부를 검사하는 패턴검사장치에 있어서, 상부에 패널을 안착하여 지지하고 Y축 방향으로 왕복이동가능하게 형성되는 스테이지부와; 상기 스테이지부를 향해 무전해 용액을 분사하되 상기 스테이지부 상에 패널이 공급되기 전후로 각각 분사하여 상기 스테이지부의 상면 및 패널의 상면에 무전해 용액을 도포하는 용액분사부와; 상기 스테이지부의 상측에 거리를 두고 위치하되 상기 스테이지부 상에 안착된 패널을 향해 상하로 왕복이동가능하여 패널을 밀착고정하는 압착헤드부와; 상기 스테이지부 상에 위치한 패널을 하측에서 촬영가능하게 설치되고 패널을 촬영한 영상정보로부터 ITO 패턴의 결함을 검사하는 검사카메라와; 상기 스테이지부를 향해 패널을 로딩하거나 상기 검사카메라로부터 검사를 마친 패널을 상기 스테이지부에서 언로딩가능하여 패널을 이송하는 패널이송부;를 포함하는 용액 분사식 ITO 패턴 검사장치를 제공한다. |
