一种磨粒流超精密加工装置

摘要

本发明提供一种磨粒流超精密加工装置，通过调节压力头与磨粒流喷射抛光嘴之间的螺纹来实现磨粒流喷射压力和速度的调节，通过气压缸向所述密闭箱提供压力，以便通过压力塞给压力头施加压力，本发明采用气压缸来对压力头施加压力，从而替代弹簧，能够有效的提高磨粒流喷射抛光嘴对工件的压力准确性，提高磨粒流加工精度，实现超精密加工，同时，对磨粒流中磨粒浓度实时监测与控制，保证加工精度与效率，通过调节压力头与磨粒流喷射抛光嘴之间的螺纹来实现磨粒流喷射压力和速度的调节，在磨粒流喷射抛光嘴的末端设置保压止流件，能够有效的提高加工效率，本发明不仅能够保证加工效率，而且能够保证超精密加工的精度。

主权项

一种磨粒流超精密加工装置，其包括气压缸、密闭箱、压力塞、压力头、磨粒流喷射抛光嘴和回收罐，其特征在于，压力塞的一端设置在所述密闭箱内，压力塞的上端与所述密闭箱的上部空间形成密闭空间，压力塞下端与压力头连接，压力头下端设置有外螺纹，磨粒流喷射抛光嘴的上端设置有内螺纹，压力头与磨粒流喷射抛光嘴之间采用螺纹可转动连接，通过调节压力头与磨粒流喷射抛光嘴之间的螺纹来实现磨粒流喷射压力和速度的调节，气压缸与密闭箱的上端连接，通过气压缸向所述密闭箱提供压力，以便通过压力塞给压力头施加压力，压力头的侧壁上设置有磨粒流入口，压力头的下端设置有磨粒流出口。