光学相位测量方法和系统

摘要

本申请提出了一种在测量图案化样品的参数中使用的测量系统。该系统包括：宽带光源；光学系统，被配置为干涉测量系统；检测单元；以及控制单元。干涉测量系统限定具有样品支路和参考支路的照射通道和检测通道，并且被配置为用于在样品支路与参考支路之间引起光程差，参考支路包括参考反射器；检测单元包括被配置为并且能够操作为用于检测由从所述反射器反射的光束和从样品的支撑件传播的光束形成的组合光束、并且生成指示由至少两个光谱干涉特征形成的光谱干涉图案的测量数据。控制单元被配置为并且能够为操作用于接收测量的数据、并且将基于模型的处理应用到光谱干涉图案以确定样品中的图案的一个或多个参数。

主权项

一种在测量图案化样品的参数中使用的测量系统，所述系统包括：宽带光源；光学系统，被配置为干涉测量系统；检测单元；以及控制单元；其中，所述干涉测量系统限定具有样品支路和参考支路的照射通道和检测通道、并且被配置为用于在所述样品支路与所述参考支路之间引起光程差，所述参考支路包括参考反射器；所述检测单元包括被配置为并且能够操作为用于检测由从反射器反射的光束和从样品的支撑件传播的光束形成的组合光束、并且生成指示由至少两个光谱干涉特征形成的光谱干涉图案的测量数据；并且所述控制单元被配置为并且能够操作为用于接收所述测量数据、并将基于模型的处理应用于所述光谱干涉图案以确定所述样品中的图案的一个或多个参数。