| 发明名称 | 研磨台更换装置、研磨台更换方法、及半导体元件制造装置的构成零件更换装置 | ||
| 摘要 | 本发明揭示一种用于更换使用于研磨晶片等基板的研磨装置的研磨台的装置。研磨台更换装置(10)是用于从研磨装置(1)取出研磨台(3)的装置。该研磨台更换装置(10)具备：使研磨台(3)在铅直方向上及水平方向上移动的起重机(12)；放置研磨台(3)的台座(14)；及使台座(14)相对于水平方向倾斜的台座倾斜移动机构(15)。 | ||
| 申请公布号 | CN106457511A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201580024470.4 | 申请日期 | 2015.05.11 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 末政秀一;篠崎弘行;小林裕 |
| 分类号 | B24B37/34(2006.01)I;B24B37/20(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人 | 肖华 |
| 主权项 | 一种研磨台更换装置，用于从研磨装置取出研磨台，其特征在于，具备：起重机，该起重机使前述研磨台在铅直方向上及水平方向上移动；台座，该台座放置前述研磨台；及台座倾斜移动机构，该台座倾斜移动机构使前述台座倾斜。 | ||
| 地址 | 日本东京都大田区羽田旭町11番1号 | ||