用于非接触晶片夹持的系统和方法

摘要

一种非接触晶片夹持设备包含晶片卡盘和耦合到所述晶片卡盘的一部分的夹具组合件。所述晶片卡盘包含加压气体元件，其经配置以跨所述晶片卡盘的表面产生加压气体区域，所述加压气体区域适合于将所述晶片提升到所述晶片卡盘的所述表面上方。所述晶片卡盘进一步包含真空元件，其经配置以跨所述晶片卡盘的所述表面产生减压区域，所述减压区域具有低于所述加压气体区域的压力。所述减压区域适合于将所述晶片紧固在所述晶片卡盘上方而不接触所述晶片卡盘。所述夹持设备包含旋转驱动单元，其经配置以选择性地旋转所述晶片卡盘。夹具元件可逆地耦合到所述晶片的边缘部分，以便紧固所述晶片，使得所述晶片和夹具组合件与所述晶片卡盘同步地旋转。

主权项

一种用于晶片的非接触夹持的设备，其包括：晶片卡盘，所述晶片卡盘包含一或多个加压气体元件，所述一或多个加压气体元件经配置以跨所述晶片卡盘的表面产生一或多个加压气体区域，所述一或多个加压气体区域适合于将所述晶片提升到所述晶片卡盘的所述表面上方，所述晶片卡盘进一步包含一或多个真空元件，所述一或多个真空元件经配置以跨所述晶片卡盘的所述表面产生一或多个减压区域，所述减压区域具有低于所述加压气体区域的压力，所述一或多个减压区域适合于将所述晶片紧固在所述晶片卡盘上方而不接触所述晶片卡盘；夹具组合件，其经耦合到所述晶片卡盘的一部分；以及旋转驱动单元，其经机械地耦合到所述晶片卡盘，其中所述旋转驱动单元经配置以选择性地旋转所述晶片卡盘，其中所述夹具组合件可逆地耦合到所述晶片的一或多个边缘部分，以便横向紧固所述晶片，使得所述晶片和所述夹具组合件在所述晶片卡盘通过所述旋转驱动单元旋转期间与所述晶片卡盘同步地旋转。