灯的固持及绝缘特征结构

摘要

本公开内容的实施方式一般涉及用于热处理腔室中被用作热辐射源的灯的经改良的固持及绝缘特征结构。在一个实施方式中，提供处理腔室。该处理腔室包括用于半导体基板热处理的灯组件、灯组件壳体、功率分配组件及分隔板，灯组件具有灯电连接器及第一侧向操作元件，灯组件壳体具有用于容纳灯组件的通道，功率分配组件具有用于承接灯电连接器及将功率传送到灯电连接器的插座，分隔板设置于灯组件壳体与功率分配组件之间，其中分隔板具有经成形以允许灯电连接器通过分隔板的通道，及分隔板具有固持特征结构，固持特征结构经构造以啮合或松开第一侧向操作元件。

主权项

一种用于热处理腔室中的灯组件，所述灯组件包括：灯，所述灯用于半导体基板热处理，所述灯具有灯电连接器，所述灯电连接器具有设置于所述灯电连接器的外表面上的侧向操作元件；以及功率分配组件，所述功率分配组件具有带有开口的插座，所述开口经调整尺寸而允许至少所述灯电连接器通过，并且当所述灯电连接器完全插入所述插座时，紧固所述侧向操作元件，其中所述插座承接所述灯电连接器并将功率传送到所述灯电连接器的所述侧向操作元件。