发明名称 |
坩埚喷淋器的固定装置及坩埚喷淋器 |
摘要 |
一种坩埚喷淋器的固定装置,属于坩埚清洗设备领域,包括清洗台,清洗台上设有坩埚固定盘,坩埚固定盘中间设有清洗孔,清洗台上固定有转动台,转动台上设有环形滑轨,坩埚固定盘滑动配合在环形滑轨上,本方案的坩埚喷淋器的固定装置固定坩埚更加稳固,使得坩埚清洗更彻底。 |
申请公布号 |
CN205966679U |
申请公布日期 |
2017.02.22 |
申请号 |
CN201620875323.X |
申请日期 |
2016.08.12 |
申请人 |
江阴龙源石英制品有限公司 |
发明人 |
徐晓军;朱国平;舒晓峰;季军 |
分类号 |
B08B9/093(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I |
主分类号 |
B08B9/093(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种坩埚喷淋器的固定装置,包括清洗台(1),所述清洗台(1)上设有坩埚固定盘(3),所述坩埚固定盘(3)中间设有清洗孔(4),其特征是:所述清洗台(1)上固定有转动台(11),所述转动台(11)上设有环形滑轨(12),所述坩埚固定盘(3)滑动配合在所述环形滑轨(12)上。 |
地址 |
214400 江苏省无锡市江阴市周庄镇长青路2号 |