等离子体未点火状态判别装置和等离子体未点火状态判别方法

摘要

本发明提供一种等离子体未点火状态判别装置和等离子体未点火状态判别方法。在基于反射波的等离子体的未点火状态的检测中，防止正常的等离子体点火时的误检测，检测等离子体异常时的未点火状态。在从高频电源通过脉冲驱动对等离子体负载供给脉冲输出时，根据反射波的持续状态来进行等离子体异常时的未点火状态的检测，由此，与在正常点火状态下产生的反射波相区别地检测等离子体异常时的未点火状态下产生的全反射波。由此，在基于反射波的波高值与阈值的比较的未点火状态的检测中，能够防止将正常的点火状态下产生的反射波误检测为异常的未点火状态下产生的全反射。

主权项

一种等离子体未点火状态判别方法，在从高频电源通过脉冲驱动进行的对等离子体负载的脉冲输出的供给中，判别所述等离子体负载的等离子体的未点火状态，其特征在于，具备以下工序：检测工序，检测从等离子体负载向高频电源的反射波电压；第一换算工序，根据所述反射波电压和持续时间，求取与对高频电源的RF功率放大元件施加的热量对应的第一换算值；第二换算工序，在脉冲驱动的各周期中，根据从反射波电压V_r的波高值变为零起的经过时间或从脉冲输出的施加开始起的经过时间，求取与从高频电源的RF功率放大元件放出的放热量对应的第二换算值；第三换算工序，根据所述第一换算值和所述第二换算值的差值，求取与高频电源的RF功率放大元件中蓄热的蓄热量对应的第三换算值；以及比较工序，将所述第三换算值与对应于所述RF功率放大元件的允许热量的阈值进行比较，在所述比较工序中，所述第三换算值超过所述阈值时，判别为等离子体的未点火状态。