超声导波弛豫铁电单晶传感器封装的保压装置及封装方法

摘要

本发明公开了一种超声导波弛豫铁电单晶传感器封装的保压装置，包括顶紧螺栓、壳体、上压块、下压块和导向弹性支撑机构，顶紧螺栓下端抵靠在上压块上端面上，上压块下端面抵靠在下压块的上侧，下压块四角通过导向弹性支撑机构支撑在壳体的下边上。使用保压装置的封装方法包括以下步骤：1）粘结匹配层和压电晶片，2）制备背衬层，3）正极铜箔和负极铜箔定位在压电晶片上并与背衬层粘接，4）装配外壳和同轴连接器，5）粘结挡片，在此过程中对各工序的半成品共进行四次加压和保压。本发明的保压装置结构简单，使用方便，提高了弛豫铁电单晶传感器的封装质量。本发明的封装方法提高了成品率，降低了的弛豫铁电单晶传感器的制造成本。

主权项

一种超声导波弛豫铁电单晶传感器封装的保压装置，其特征在于，包括顶紧螺栓、壳体、上压块、下压块和导向弹性支撑机构，所述壳体呈矩形，包括连接成一体的上边、下边和两个侧边，所述顶紧螺栓下端垂直拧入壳体的上边后抵靠在上压块上端面上，上压块下端面抵靠在下压块的上侧，下压块四角通过导向弹性支撑机构支撑在壳体的下边上；所述导向弹性支撑机构包括分别设置在下压块四角的导向孔、导向螺钉和弹簧；导向螺钉上端的光杆与下压块对应的导向孔间隙配合，导向螺钉下端拧入下边中，弹簧套在导向螺钉中部上，且位于下压块和下边之间。