| 发明名称 |
一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法 |
| 摘要 |
本发明公开了一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法。薄膜热电变换器由制作在同一硅片(1)上的加热电阻(2)、双端固支梁(3)、激励电极(4)和检测电容(5)组成。加热电阻(2)通电后产生并辐射的热量引起双端固支梁(3)温度升高，进而改变双端固支梁(3)的轴向应力，最终使双端固支梁(3)的谐振频率降低。通过测量双端固支梁(3)的谐振频率的变化就可以测量出加载在加热电阻(2)上的输入电压或电流的大小。本发明所涉及的薄膜热电变换器具有以下优点：加热电阻(2)、双端固支梁(3)、激励电极(4)和检测电容(5)制作在同一硅片(1)上，简化了器件封装工艺。 |
| 申请公布号 |
CN106449960A |
申请公布日期 |
2017.02.22 |
| 申请号 |
CN201610541376.2 |
申请日期 |
2016.07.01 |
| 申请人 |
中国计量大学 |
发明人 |
韩建强;张杰;牛文举;尹伊君;程冰 |
| 分类号 |
H01L35/32(2006.01)I;H01L35/34(2006.01)I |
主分类号 |
H01L35/32(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器，其特征在于：薄膜热电变换器由制作在同一硅片(1)上的加热电阻(2)、双端固支梁(3)、激励电极(4)和检测电容(5)组成。 |
| 地址 |
310018 浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号中国计量大学 |
