| 发明名称 | 蓝宝石单晶炉真空计防污染装置和真空计模块 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种蓝宝石单晶炉真空计防污染装置和真空计模块，其中的蓝宝石单晶炉真空计防污染装置包括壳体、下隔离板、分子筛层，所述壳体下方设置有开口，该开口处设置有下隔离板，在壳体内所述下隔离板的上方设置有分子筛层。通过隔板的作用将单晶炉内的污染物进行物理隔离，同时采用分子筛对通过物理隔离后的污染物进一步进行吸附。 | ||
| 申请公布号 | CN106435716A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201510750116.1 | 申请日期 | 2015.11.06 |
| 申请人 | 南京晶升能源设备有限公司 | 发明人 | 张洪涛;宋文君;葛继虎 |
| 分类号 | C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 主分类号 | C30B17/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人 | 李昊 |
| 主权项 | 一种蓝宝石单晶炉真空计防污染装置，其特征在于，包括壳体(2)、下隔离板(4)、分子筛层(3)，所述壳体(2)下方设置有开口，该开口处设置有下隔离板(4)，在壳体(2)内所述下隔离板(4)的上方设置有分子筛层(3)。在上隔离板(1)上装置有真空计(5)。 | ||
| 地址 | 210000 江苏省南京市南京经济技术开发区恒发路30-1号 | ||