| 发明名称 | 用于借助陶瓷靶进行电弧气相沉积的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种电弧气相沉积源，包括：带有导电陶瓷靶板（1）的阴极，阳极（21），电压源（23），其与靶板（1）和阳极（21）连接，使得靶板（1）能够相对于阳极（21）置于负电势上，用于点燃电弧的点燃装置（20）。靶板（1）与冷却板（10）大面积地热学地并且优选通过接合连接来有效连接，并且设置有用于强制阴极斑点移动的装置。 | ||
| 申请公布号 | CN106435488A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201610725648.4 | 申请日期 | 2011.04.13 |
| 申请人 | 欧瑞康表面解决方案股份公司，普费菲孔 | 发明人 | M.莱希塔勒 |
| 分类号 | C23C14/32(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 张涛 |
| 主权项 | 一种电弧气相沉积源，包括：－ 带有导电陶瓷靶板（1）的阴极，－ 阳极（21），－ 电压源（23），其与靶板（1）和阳极（21）连接，使得靶板（1）能够相对于阳极（21）置于负电势上，－ 用于点燃电弧的点燃装置（20），其特征在于，靶板（1）与冷却板（10）大面积地热学地并且优选通过接合连接来有效连接，并且设置有用于强制阴极斑点移动的装置。 | ||
| 地址 | 瑞士普费菲孔 | ||