一种超薄多晶硅片

摘要

本实用新型公开了一种超薄多晶硅片，包括多晶硅片主体，所述多晶硅片主体的四角设有圆弧边，多晶硅片主体的左右两端通过安装左右橡胶垫，从而保护多晶硅片主体，多晶硅片主体的上下两端安装有上下橡胶垫，多晶硅片主体的底部设有安装圆柱槽，所述安装圆柱槽通过氮化硅板安装在多晶硅片主体的底部表面中间，安装圆柱槽的两侧通过设置辅助安装槽，使得多晶硅片主体方便安装。该超薄多晶硅片，通过设置圆弧边，保证了硅片整体的强度，使硅片在使用中不会出现断裂现象发生，并且还具有氮化硅板，能够有效的保护该超薄多晶硅片，保证了使用寿命，满足了市场需求。

主权项

一种超薄多晶硅片，包括多晶硅片主体（1），其特征在于：所述多晶硅片主体（1）的四角设有圆弧边（2），多晶硅片主体（1）的左右两端设有橡胶垫Ⅰ（3），所述多晶硅片主体（1）的上下两端设有橡胶垫Ⅱ（4），所述多晶硅片主体（1）的底部设有安装圆柱槽（5），所述安装圆柱槽（5）通过氮化硅板（6）安装在多晶硅片主体（1）的底部表面中间，所述安装圆柱槽（5）的两侧还设有辅助安装槽（7）。