摘要 |
소정의 경사 각도로 분체를 중력 낙하에 의하여 반송 가능한 반송 배관(11)과, 반송 배관(11)을 따라 유로 단면을 상하로 분할하여 상부에 분체 유로(11d)를 형성하도록 배치된 다공판(12)과, 다공판(12)의 하방에 마련되어 다공판(12)을 통과시켜 분체 유로(11d)에 어시스트 가스(g)를 공급하는 유동화용 불활성 기체 공급 유로(13)와, 분체 유로(11d) 내에서 다공판(12)의 상면측에 퇴적되는 분체 상황을 상시 감시하는 퇴적 상황 감시 장치(20)를 구비하고 있다. |