激光光源装置以及激光光源装置中的波长转换元件的温度控制方法

摘要

在激光光源装置中，不使用光电二极管等光检测装置，就能够实现波长转换元件的波长转换效率的最佳化，能够进行稳定的光输出。从半导体激光器(2)出射的基波光，由波长转换元件(5)波长转换并出射。点亮电路(20)向上述半导体激光器(2)供给电力并使半导体激光器(2)点亮。控制部(21)对加热机构(7)的供电量进行控制，而控制为波长转换元件(5)成为最佳波长转换效率的温度。向控制部(21)输入由元件温度检测机构(Th1)和光源部温度检测机构(Th2)检测的温度，控制部(21)将由光源部温度检测机构(Th2)检测的温度成为极小时的波长转换元件(5)的温度设为成为最佳波长转换效率的设定温度，对加热机构(7)的加热量进行控制而以波长转换元件(5)的温度成为上述设定温度的方式对波长转换元件(5)的温度进行反馈控制。

主权项

一种激光光源装置，具备：光源部，该光源部具备半导体激光器、对从该半导体激光器放射的激光进行波长转换的波长转换元件、以及对从该波长转换元件放出的规定波长的激光进行选择而使其朝向上述半导体激光器反射的外部共振器；使上述半导体激光器点亮的点亮电路；对上述波长转换元件的温度进行检测的元件温度检测机构；对上述该波长转换元件进行加热的加热机构；对上述点亮电路和上述加热机构进行控制的控制部；以及对上述光源部的温度进行检测的光源部温度检测机构，在该激光光源装置中，上述控制部具备：温度控制机构，基于由上述元件温度检测机构检测的温度与设定温度之差，对向上述加热机构的供电量进行控制，并控制为波长转换元件的温度成为上述设定温度；以及温度设定机构，在向上述波长转换元件照射上述激光时，使上述设定温度变化，并且通过上述光源部温度检测机构对各设定温度的光源部的温度进行计测，求出该光源部温度成为极小时的上述波长转换元件的温度，将该温度作为上述波长转换元件的设定温度设定。