发明名称 |
用于制造用于太阳能电池用途的钙钛矿膜的系统和方法 |
摘要 |
提供了一种用于制造用于太阳能电池应用的钙钛矿膜的系统和方法,该系统包括:壳体,其用作真空室;基板台,其联接至壳体的顶部;第一蒸发器单元,其联接至壳体的底部并且构造为生成BX<sub>2</sub>(金属卤化物材料)蒸汽;第二蒸发器单元,其联接至壳体并且构造为生成AX(有机材料)蒸汽;以及流动控制单元,其联接至壳体,用于控制AX蒸汽的循环。第一蒸发器单元的水平截面形状的尺寸、基板台的水平截面形状的尺寸以及两个水平截面形状之间沿水平方向的相对位置构造为最大化两个水平截面形状之间的重叠。 |
申请公布号 |
CN106463625A |
申请公布日期 |
2017.02.22 |
申请号 |
CN201580023234.0 |
申请日期 |
2015.04.10 |
申请人 |
学校法人冲绳科学技术大学院大学学园 |
发明人 |
戚亚冰;大野路易斯胜也;王生浩 |
分类号 |
H01L51/44(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;H01L51/48(2006.01)I |
主分类号 |
H01L51/44(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
王小东 |
主权项 |
一种通过使用源材料AX和BX<sub>2</sub>制造用于太阳能电池用途的钙钛矿膜的系统,其中,AX是有机材料,该有机材料具有从由甲铵(MA)、甲脒(FA)和5‑氨基戊酸(5‑AVA)构成的组中选择的有机元素A和从由Cl、I及Br构成的组中选择的卤族元素X,或者具有两种或更多种有机材料的组合;BX<sub>2</sub>是金属卤化物材料,该金属卤化物材料具有从由Pb和Sn构成的组中选择的金属元素B以及从由Cl、I及Br构成的组中选择的卤族元素X,或者具有两种或更多种金属卤化物材料的组合,所述系统包括:壳体,所述壳体用作真空室,所述壳体具有沿着垂直方向的侧部以及具有沿着水平方向的顶部和底部;基板台,所述基板台联接至所述壳体的所述顶部并且构造为具有面向垂直向下的台表面,所述台表面用于供放置基板;第一蒸发器单元,所述第一蒸发器单元联接至所述壳体的所述底部并且构造为生成BX<sub>2</sub>蒸汽;第二蒸发器单元,所述第二蒸发器单元联接至所述壳体并且构造为生成AX蒸汽;以及流动控制单元,所述流动控制单元联接至所述壳体,用于控制AX蒸汽在所述壳体中的循环,其中,所述第一蒸发器单元的水平截面形状的尺寸、所述基板台的水平截面形状的尺寸以及两个所述水平截面形状之间沿水平方向的相对位置被构造为使两个所述水平截面形状之间的重叠最大化。 |
地址 |
日本冲绳县 |