一种硅片有蜡抛光工艺用的蜡回收装置

摘要

一种硅片有蜡抛光工艺用的蜡回收装置，包括与装片设备连接的变径管和与余蜡回收瓶连接的卡管，变径管套设在装片设备上，并与卡管螺纹连接，卡管外壁的中部设置有环形卡台，以使卡管穿过余蜡回收瓶瓶盖上的通孔与螺纹管连接后，余蜡回收瓶依靠瓶盖卡在环形卡台上。本实用新型通过在装片设备上连接长度很短的变径管，然后将余蜡回收瓶利用卡管连接在变径管上，使得经排蜡管排出的余蜡在很短时间内直接进入到余蜡回收瓶内储存，从而减少余蜡中溶剂挥发而影响其粘稠度，余蜡回收瓶采用原包装物收集余蜡可尽量减少在回收余蜡的容器沾污，可对原包装物进行二次利用，并且容易对回收蜡进行集中处理。

主权项

一种硅片有蜡抛光工艺用的蜡回收装置，其特征在于：包括与装片设备（4）连接的变径管（1）和与余蜡回收瓶（3）连接的卡管（2），其中，变径管（1）包括套管（101）和螺纹管（105），且套管（101）通过其一端外壁上设有的固定挡圈（102）与抛光机配合，以使其套设在装片设备（4）上，套管（101）的另一端与螺纹管（105）的一端通过锥形管（104）连接，螺纹管（105）的另一端与卡管（2）螺纹连接，卡管（2）外壁的中部设置有环形卡台（201），以使卡管（2）穿过余蜡回收瓶（3）瓶盖（301）上的通孔与螺纹管（105）连接后，余蜡回收瓶（3）依靠瓶盖（301）卡在环形卡台（201）上。