DEVICE FOR IGNITING A VACUUM ARC DISCHARGE AND METHOD FOR USE THEREOF

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Zünden einer Vakuumbogenentladung und Verfahren zu deren Anwendung, mit denen eine einfache und sichere Zündung der Vakuumbogenentladung über die gesamte technologisch vorgegebene Betriebszeit gewährleistet ist. Die erfindungsgemäße Vorrichtung mit den nebengeordneten Ansprüchen 1 und 2 weist in der Nähe des Targets des Vakuumbogenverdampfers eine Zündelektrode (10, 15) auf, an der mittels einer Hilfsplasmaeinrichtung eine Zündleistung zwischen 30 und 100 kW, vorzugsweise 70 kW, bereitgestellt wird, die geeignet ist, eine Vakuumbogenentladung am Vakuumbogenverdampfer auszulösen. Dazu werden zwei funktionell gleichwertige Ausführungen angegeben. Bei der ersten Ausführung speist eine Hochspannungsquelle (8) einen Hochspannungskondensator (9), der zur Zündelektrode (10) hin entladen werden kann. Bei der zweiten Ausführung kann eine Hochspannungsquelle (20) mit einer anodischen Hochspannungselektrode (14) verbunden werden. Die Zündelektrode (15) ist im Raum zwischen dem Target (3) und der Hochspannungselektrode (14) angeordnet. Ein Kondensator (16) kann zur Zündelektrode (15) hin entladen werden.