| 发明名称 | 抗蚀材料、抗蚀组合物和抗蚀图案形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明的抗蚀材料含有下述式(1)所示的化合物。(式(1)中，R<sup>0</sup>各自独立地为包含氧原子的1价基团、包含硫原子的1价基团、包含氮原子的1价基团、烃基或卤原子，p各自独立地为0～4的整数。)<img file="DDA0001148144640000011.GIF" wi="437" he="480" /> | ||
| 申请公布号 | CN106462059A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201580024204.1 | 申请日期 | 2015.05.08 |
| 申请人 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 发明人 | 樋田匠;佐藤隆;越后雅敏 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/038(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种抗蚀材料，其含有下述式(1)所示的化合物，<img file="FDA0001148144620000011.GIF" wi="437" he="480" />式(1)中，R<sup>0</sup>各自独立地为包含氧原子的1价基团、包含硫原子的1价基团、包含氮原子的1价基团、烃基或卤原子，p各自独立地为0～4的整数。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||