发明名称 | 一种双脉冲碰撞等离子体极紫外光刻光源产生装置 | ||
摘要 | 本发明公开了一种双脉冲碰撞等离子体极紫外光刻光源产生装置,包括激光器光源、真空靶室,激光器光源包括驱动光源CO<sub>2</sub>激光器光源和辅助光源Nd:YAG激光器光源,真空靶室内两个聚焦透镜成角度设置在靶系统的外侧;Nd:YAG激光器与其对应的聚焦透镜之间设置有半波片、偏振片和楔形棱镜,CO<sub>2</sub>激光器与其对应的聚焦透镜之间设置有准直透镜、镀金硅镜面和ZnSe镜片;Nd:YAG激光器光源经楔形棱镜分裂成两束后,照射靶系统产生两个等离子体,与CO<sub>2</sub>激光器光源照射靶系统作用产生碰撞等离子体。设置驱动光源和辅助光源结合产生碰撞等离子体,显著提高了EUV光源的效率,固体靶和液体靶相结合,具有成本低、效率高的特点,适于推广应用。 | ||
申请公布号 | CN106444295A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
申请号 | CN201610931200.8 | 申请日期 | 2016.10.31 |
申请人 | 兰州大学 | 发明人 | 李博文;陈熙萌 |
分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人 | 刘洪京 |
主权项 | 一种双脉冲碰撞等离子体极紫外光刻光源产生装置,包括激光器光源、真空靶室及位于真空靶室内的靶系统和聚焦透镜,其特征在于:所述激光器光源包括驱动光源和辅助光源,驱动光源由CO<sub>2</sub>激光器(7)产生,辅助光源由用于产生等离子体的Nd:YAG激光器(1)产生;所述真空靶室(11)内靶系统(6)设置在中心位置,两个光源入射聚焦透镜(5)成角度设置在靶系统(6)的外侧;所述Nd:YAG激光器(1)与其光源对应入射的聚焦透镜(5)之间设置有楔形棱镜(4),Nd:YAG激光器(1)光源经楔形棱镜(4)分裂成两束后,照射靶系统(6)产生两个等离子体,与CO<sub>2</sub>激光器(7)光源照射靶系统(6)作用产生碰撞等离子体。 | ||
地址 | 730000 甘肃省兰州市城关区天水南路222号 |