| 发明名称 | CuSn、CuZn 和Cu<sub>2</sub>ZnSn 溅射靶 | ||
| 摘要 | 本发明涉及包含CuZnSn材料、CuZn材料或CuSn材料的三维溅射靶。示例性的CuZnSn材料具有40原子％至60原子％的Cu含量，20原子％至30原子％的Zn含量，和20原子％至30原子％的Sn含量，其中所述三维溅射靶具有至少一个大于500毫米的主轴维度且所述CuZnSn材料具有0.005毫米至5毫米的晶粒尺寸。本发明还提出制造所述三维溅射靶的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN106460162A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201580026122.0 | 申请日期 | 2015.04.30 |
| 申请人 | 贺利氏德国有限责任两合公司 | 发明人 | M·舒尔塞斯;C·西蒙斯 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 李颖;林柏楠 |
| 主权项 | 一种三维溅射靶，其包含CuZnSn材料，该CuZnSn材料具有：40原子％至60原子％的Cu含量，20原子％至30原子％的Zn含量，和20原子％至30原子％的Sn含量，其中所述三维溅射靶具有至少一个大于500毫米的主轴维度且所述CuZnSn材料具有0.005毫米至5毫米的晶粒尺寸。 | ||
| 地址 | 德国哈瑙 | ||