发明名称 |
一种多晶硅合成中的急冷装置及急冷工艺 |
摘要 |
本发明公开了一种多晶硅合成中的急冷装置及急冷工艺,该装置包括:急冷塔,该急冷塔包括急冷塔的塔顶和急冷塔的塔釜,急冷塔用于对多晶硅合成产生的尾气进行急冷降温;冷凝器,该冷凝器包括冷凝器入口、冷凝器出口,冷凝器入口与急冷塔的塔顶连接,冷凝器出口与急冷塔的塔顶连接。本发明中的多晶硅合成中的急冷装置及急冷工艺解决了多晶硅合成产生的尾气中的硅粉、金属氯化物、聚合物、高沸物等杂质的分离,降低了急冷塔内氯硅烷淋洗量,同时防止了硅粉等颗粒造成急冷塔产生堵塞,大大延长了急冷塔的使用周期。 |
申请公布号 |
CN106430214A |
申请公布日期 |
2017.02.22 |
申请号 |
CN201510491493.8 |
申请日期 |
2015.08.12 |
申请人 |
新特能源股份有限公司 |
发明人 |
刘兴平;郑宝刚;周迎春 |
分类号 |
C01B33/03(2006.01)I |
主分类号 |
C01B33/03(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 |
代理人 |
罗建民;邓伯英 |
主权项 |
一种多晶硅合成中的急冷装置,其特征在于,包括:急冷塔,该急冷塔包括急冷塔的塔顶和急冷塔的塔釜,所述急冷塔用于对多晶硅合成产生的尾气进行急冷降温;冷凝器,该冷凝器包括冷凝器入口、冷凝器出口,所述冷凝器入口与所述急冷塔的塔顶连接,所述冷凝器出口与所述急冷塔的塔顶连接。 |
地址 |
830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区(新市区)甘泉堡高新技术产业园 |