卷对卷金属衬底的硒化或硫化方法

摘要

本发明披露用于加工前体材料的方法和系统。所述方法包括将衬底引入到真空腔室的第一区域中，所述衬底的表面上沉积有前体材料。所述前体材料包含铜；铟；以及镓、硒、硫、钠、锑、硼、铝和银中的至少一种。所述方法进一步包括在所述第一区域内，将所述前体材料加热到在约270℃到约490℃范围内的目标反应温度。所述方法进一步包括使硒蒸气维持在所述真空腔室的第二区域中，并且在将所述前体材料加热到所述目标反应温度后，将所述前体材料和所述衬底引入到所述真空腔室的所述第二区域中。

主权项

一种方法，包含：将衬底引入到真空腔室的第一区域中，所述衬底的表面上沉积有前体材料，其中所述前体材料包含铜；铟；以及镓、钠、硒、硫、锑、硼、铝和银中的至少一种；在所述第一区域内，将所述前体材料加热到在约270℃到约490℃范围内的目标反应温度；使硒蒸气或硫蒸气中的一个维持在所述真空腔室的第二区域中；以及将所述前体材料加热到所述目标反应温度后，将所述前体材料和所述衬底引入到所述真空腔室的所述第二区域中。