| 发明名称 | 生产有机‑无机层合物的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及通过原子层沉积生产有机‑无机层合物的方法的领域。具体而言，本发明涉及生产层合物的方法，其包括相对于沿着相对移动轨道排列的至少两个独立孔口移动基底，其中经由至少一个孔口朝向基底的表面传送呈气态的有机化合物且经由至少一个其它孔口朝向基底的表面传送呈气态的含(半)金属化合物，并且其中孔口安装在转鼓上。 | ||
| 申请公布号 | CN106460171A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201580030828.4 | 申请日期 | 2015.05.07 |
| 申请人 | 巴斯夫涂料有限公司 | 发明人 | M·阿尔夫;F·艾克迈尔;S·克洛茨 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 王丹丹;刘金辉 |
| 主权项 | 生产层合物的方法，其包括相对于沿着相对移动轨道排列的至少两个独立孔口移动基底，其中经由至少一个孔口朝向基底的表面传送呈气态的有机化合物且经由至少一个其它孔口朝向基底的表面传送呈气态的含(半)金属化合物，并且其中孔口安装在转鼓上。 | ||
| 地址 | 德国明斯特 | ||