发明名称 用于真空腔的封闭装置或闸门装置
摘要 本发明涉及一种用于真空腔(12)的封闭装置或闸门装置,具有:‑一个可布置在真空腔(12)上、并包围所述真空腔(12)一个开口(14)的护板(16);‑‑一个相对于所述护板(16)可运动地设置的封闭盖(18),所述封闭盖在闭合位置(28)在所述护板(16)上封闭所述开口(14);‑‑至少一个与所述护板(16)和所述封闭盖(18)配合的、可调节的磁体装置(30),其用于产生在护板(16)与封闭盖(18)之间起作用的闭合力(S);以及‑‑至少一个间距测量装置(40),其用于测量封闭盖(18)与护板(16)之间的间距(41),‑‑其中所述磁体装置(30)可依据由所述间距测量装置(40)测量到的、护板(16)与封闭盖(18)之间的间距(41)作调节。
申请公布号 CN106461120A 申请公布日期 2017.02.22
申请号 CN201580030603.9 申请日期 2015.06.10
申请人 麦卡特罗尼克斯股份公司 发明人 U·奥尔登多夫;C·克莱森
分类号 F16K51/02(2006.01)I;F16K3/18(2006.01)I 主分类号 F16K51/02(2006.01)I
代理机构 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 代理人 郑建晖;钟守期
主权项 用于真空腔(12)的封闭装置或闸门装置,具有:‑一个可布置在真空腔(12)上、并包围所述真空腔(12)的一个开口(14)的护板(16);‑一个相对于所述护板(16)可运动地设置的封闭盖(18),所述封闭盖在闭合位置(28)在所述护板(16)上封闭所述开口(14);‑与所述护板(16)和所述封闭盖(18)配合的、可调节的至少一个磁体装置(30),其用于产生在护板(16)与封闭盖(18)之间起作用的闭合力(S);以及‑至少一个间距测量装置(40),其用于测量封闭盖(18)与护板(16)之间的间距(41),‑其中所述磁体装置(30)可依据护板(16)与封闭盖(18)之间的由所述间距测量装置(40)测量到的间距(41)而被调节。
地址 德国达姆施塔特