一种微探针散射式的太赫兹波段介电常数检测装置

摘要

本发明的微探针散射式的太赫兹波段介电常数检测装置由第一红外激光器(1)、第二红外激光器(2)、前端保偏光纤(3)、耦合分束器(4)、后端保偏光纤(5)、THz波发射天线(6)、THz波分束片(7)、THz波反射镜(8)、第一促动陶瓷(9)、微纳探针(11)、第二促动陶瓷(17)、抛物面镜(10)、THz波功率探测器(14)、函数发生器(16)和锁相放大器(20)组成；可准确获得与样品有关的信号，再利用基于检测结果的计算方法算得样品的介电常数。本发明具有高分辨率、高灵活性、可操作性强的特点，具有在多个频段和频点上进行测试的能力，为介观尺度上的多学科研究提供了便利条件。

主权项

一种微探针散射式的太赫兹波段介电常数检测装置，其特征是，所述太赫兹波段介电常数检测装置由第一红外激光器(1)、第二红外激光器(2)、前端保偏光纤(3)、耦合分束器(4)、后端保偏光纤(5)、THz波发射天线(6)、THz波分束片(7)、THz波反射镜(8)、第一促动陶瓷(9)、微纳探针(11)、第二促动陶瓷(17)、抛物面镜(10)、THz波功率探测器(14)、函数发生器(16)和锁相放大器(20)组成；其中THz波反射镜(8)和第一促动陶瓷(9)使用合成树脂胶水黏合在一起；微纳探针(11)和第二促动陶瓷(17)通过微螺栓机械夹持结构连接；THz波发射天线(6)的焦点、THz波分束片(7)的中心和抛物面镜(10)的水平轴线在同一条直线上；THz波反射镜(8)的中心、THz波分束片(7)的中心和THz波功率探测器(14)的焦点轴线在同一条直线上；锁相放大器(20)的信号输入端(25)与THz波功率探测器(14)的输出端通过信号传输线相连；锁相放大器(20)的参考输入端(24)与函数发生器(16)的端口(23)用信号传输线相连；函数发生器(16)的输出端(21)与第一促动陶瓷(9)用信号传输线相连，函数发生器(16)的输出端(22)与第二促动陶瓷(17)通过信号传输线相连；所述第一红外激光器(1)为连续波输出型；第二红外激光器(2)为连续波输出型；所述THz波发射天线(6)为半导体基底天线；所述THz波分束片(7)为优选硅片THz波分束片；所述THz波反射镜(8)为镀金或镀铝的平面反射镜；所述微纳探针(11)为硅探针，针尖上镀金属层，将其黏附在由第二促动陶瓷驱动的悬臂梁上；所述抛物面镜(10)为镀THz波反射膜的抛物面镜。