一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片

摘要

一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片，包括外围的硅基支撑框架,硅基支撑框架与质量块通过支撑转轴连接，质量块与支撑外框架之间有运动间隙，在质量块上靠近中轴线部位，开有一对完全贯通的空槽，一对双端石英音叉的谐振梁分别放置于对称的空槽内，双端石英音叉一端固定在硅基支撑框架上，另一端固定在质量块上，当加速度作用于质量块时，质量块在支撑转轴支撑下会产生一定的扭转，石英音叉发生形变，该形变导致石英音叉的谐振频率发生变化，这一变化通过频率检测电路转化为频率信号输出，从而实现传感器芯片的加速度‑频率信号转换，完成对加速度的数字化测量，本发明具有体积小，重量小，数字信号输出、分辨率高和抗干扰性能优良等优点。

主权项

一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片，包括外围的硅基支撑框架(1),硅基支撑框架(1)与其内部的质量块(2)通过支撑转轴(5)连接，其特征在于：在质量块(2)上靠近中轴线部位，开有一对完全贯通的第一空槽(4)和第二空槽(8)，第一双端石英音叉(3)和第二双端石英音叉(9)安装在第一空槽(4)和第二空槽(8)内，第一双端石英音叉(3)和第二双端石英音叉(9)的一端固定在硅基支撑框架(1)上的第一安装槽(6)内，第一双端石英音叉(3)和第二双端石英音叉(9)的另一端固定在质量块(2)上的第二安装槽(7)内，第一双端石英音叉(3)和第二双端石英音叉(9)关于支撑转轴(5)对称安装，第一双端石英音叉(3)和第二双端石英音叉(9)的谐振梁表面四周设置有电极，通电之后能够按照预定模态振动。