| 发明名称 | 非球面元件面形检测装置及检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种非球面元件面形检测装置，依次包括：干涉仪、环形平晶、调平垫圈、零位补偿器和待测镜面安装座，所述干涉仪的光轴方向与所述零位补偿器的光轴方向平行。本发明还提供了一种非球面元件面形检测的方法。本发明提供的非球面元件面形检测装置及方法有效地减小了非球面元件面形检测误差，提高了零位补偿法检测非球面的测试精度。 | ||
| 申请公布号 | CN106441154A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201610991721.2 | 申请日期 | 2016.11.10 |
| 申请人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明人 | 张文龙;苗亮;刘钰 |
| 分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人 | 赵勍毅 |
| 主权项 | 一种非球面元件面形检测装置，其特征在于，依次包括：干涉仪、环形平晶、调平垫圈、零位补偿器和待测镜面安装座，所述干涉仪的光轴方向与所述零位补偿器的光轴方向平行。 | ||
| 地址 | 130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号 | ||